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我首条石英玻璃基板成套生产线建成

本文摘要:记者3日从中国建筑材料科学研究总院(以下全称建材总院)获悉,基于光刻用石英玻璃基板(以下全称石英玻璃基板)绿色生产技术,建材总院石英院在衢州建立了国内首条从基板材料生产到产品加工的一套生产线,该生产线每年生产20000张46英寸石英玻璃基板,超过了石英玻璃基板材料和产品多年依赖进口的局面。该生产线的创建是建材总院分担的十二五国家科学技术支持计划高性能石英玻璃、微晶玻璃等特殊材料的重要技术开发和模板课题成果之一。玻璃基板是集成电路芯片生产技术的核心部件,市场需求量极大。

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记者3日从中国建筑材料科学研究总院(以下全称建材总院)获悉,基于光刻用石英玻璃基板(以下全称石英玻璃基板)绿色生产技术,建材总院石英院在衢州建立了国内首条从基板材料生产到产品加工的一套生产线,该生产线每年生产20000张46英寸石英玻璃基板,超过了石英玻璃基板材料和产品多年依赖进口的局面。该生产线的创建是建材总院分担的十二五国家科学技术支持计划高性能石英玻璃、微晶玻璃等特殊材料的重要技术开发和模板课题成果之一。玻璃基板是集成电路芯片生产技术的核心部件,市场需求量极大。作为石英玻璃基板的原材料,石英玻璃具有热稳定性好、光学均匀分布性低、耐电离辐射等诸多优点。

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但是,不受原材料纯度、均匀分布性、加工精度、脆性特性等制约,中国石英玻璃基板多年依赖进口。作为我国唯一专业从事石英玻璃研究的科研院,建材总院石英院科研人员经过不懈的努力,构成了符合我国行业现状和发展趋势的独特技术路线,不仅解决了石英玻璃基板原材料的纯度、均匀分布性问题,还构筑了原材料的绿色生产从基板原材料的生产到产品加工,该院构成专利20馀项,行业标准、国军标准和国家标准10馀项,开发出多种规格的石英玻璃基板、晶片、镜片等系列产品,不仅取代进口,还出口欧洲、日本等国家。


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